FT-340双电测电四探针方阻电阻率测试仪

FT-340双电测电四探针方阻电阻率测试仪

满足标准：

1.硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.

;1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

;1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

;1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

功能描述Description：

1. 四探针组合双电测量方法
2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.
3. 高集成电路系统、恒流输出.
4. 选配：PC软件进行数据管理和处理.
5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择

   适用范围Widely used：

   1.覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

   2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，

   涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，

   4.抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，

   规格型号/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
   1.方块电阻sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
   2.电阻率Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
   3.测试电流Test current	0.1μA.μA.0μA，100?A，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100?A，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100?A，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100?A，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100?A，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100?A，1mA，10mA，100mA
   4.电流精度Current	±0.1% accuracy	±0.2%  accuracy	±0.2%  accuracy	±0.3%  accuracy	±0.3%  accuracy	±0.3%  accuracy
   5.电阻精度Resistance	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy